Tá ocht gcéim ann chun cealla gréine a tháirgeadh ó shliseoga sileacain go dtí an tástáil dheiridh ar an gcill réidh gréine.
Céim 1: Seiceáil slise
Is é wafer an tsileacáin iompróir na cille gréine. Cinneann caighdeán an bhrait shilice éifeachtacht chomhshó na cille gréine, mar sin tá sé riachtanach an sliseog sileacain a thástáil. Úsáidtear an próiseas seo go príomha chun cuid de pharaiméadair theicniúla sliseog sileacain a thomhas ar líne, ar nós garness dromchla, saolré mionlaigh, friotachas, cineál P / N agus microcrack, etc. Tá an trealamh comhdhéanta de luchtú agus díluchtú uathoibríoch, tarchur sliseog, comhtháthú córais agus ceithre mhodúl braite.
Ina measc, brathadóidh an brathadóir brataithe sileacain fótavoltach gairbhe dromchla an bhratáin sileacain, agus ag an am céanna aimsíonn sé na paraiméadair chuma cosúil le méid agus líne thrasnánach an bhrait shilice. Úsáidtear an modúl braite microcrack chun microcracks inmheánacha sliseog sileacain a bhrath. Ina theannta sin, tá dhá mhodúl braite ann, ceann acu ar modúl tástála ar líne é a dhéanann tástáil ar fhriotaíocht sliseog agus ar chineál sliseog den chuid is mó, agus baintear úsáid as an modúl eile chun mion-shaol sliseog sileacain a thástáil. Sula mbítear ag brath ar shaolré mionlaigh agus ar fhrithsheasmhacht, ba chóir trasnán agus microcrack an tsleacáin sileacain a bhrath agus ba chóir an sliseog sileacain a ndearnadh damáiste dó a bhaint go huathoibríoch. Is féidir leis an trealamh tástála sliseog an sliseog a luchtú agus a dhílódáil go huathoibríoch, agus is féidir leis na táirgí neamhcháilithe a chur i riocht seasta, chun cruinneas agus éifeachtúlacht tástála a fheabhsú.
Céim 2: Uigeacht agus Glanadh
Is é an t-ullmhúchán a dhéantar ar dhromchla na suede sileacain monocrystalline ná úsáid a bhaint as creimeadh anisotrópach sileacain chun na milliúin struchtúr pirimide ceithre thaobh a dhéanamh ar dhromchla sileacain gach ceintiméadar cearnach. De bharr ilmhachnamh agus athraonadh solais eachtra ar an dromchla, méadaítear ionsú solais, agus feabhsaítear an sruth ciorcad gearr agus éifeachtúlacht chomhshó na ceallraí.
De ghnáth is réitigh alcaileacha te iad réitigh creimthe anisotrópaigh sileacain. Is iad na boinn atá ar fáil hiodrocsaíd sóidiam, hiodrocsaíd photaisiam, hiodrocsaíd litiam, agus eitiléindé-aimín. Úsáideann an chuid is mó acu tuaslagán caol hiodrocsaíde sóidiam saor le tiúchan de thart ar 1% chun sileacain suede a ullmhú, agus 70-85 temperature an teocht creimthe. D'fhonn suede aonfhoirmeach a fháil, ba cheart alcóil amhail eatánól agus iseaprópolól a chur isteach mar ghníomhairí casta chun creimeadh sileacain a luathú. Sula n-ullmhófar an suede, déanfar creimeadh dromchla tosaigh ar an mbreiseán sileacain, agus úsáidfear thart ar 20 ~ 25 miocrón de leacht alcaileach nó creimthe aigéadach chun é a bhaint. Tar éis an suede a bheith creimneach, déanfar glanadh ceimiceach ginearálta. Níor chóir na sliseoga sileacain a ullmhaítear ar an dromchla a stóráil in uisce le fada chun éilliú a chosc.
Céim 3: Idirleathadh
Tá gá le hachar mór den acomhal PN chun fuinneamh solais a thiontú go fuinneamh leictreach. Is trealamh speisialta é an foirnéis idirleata le haghaidh acomhal PN de chealla gréine a mhonarú. Tá ceithre chuid sa fhoirnéis idirleata feadánach: an chuid uachtarach den bhád Grianchloch, an seomra gáis sceite, an chuid choirp foirnéise agus an chuid comh-aireachta gáis. Go ginearálta, úsáidtear an fhoinse leachtach d'ocsaclóiríd fosfair mar fhoinse idirleata. Cuirtear abhlanna sileacain P-cineál sa choimeádán Grianchloch den fhoirnéis idirleata feadánach. Cuirtear ocsaclóiríd Phosphorus isteach sa choimeádán Grianchloch le nítrigin ag an teocht ard de 850 - 900 céim Celsius. Imoibríonn ocsaídíd fosfair le haiseáin sileacain chun adaimh fhosfair a fháil. Tar éis tréimhse áirithe ama, cuireann adaimh fosfair isteach i gciseal dromchla sliseog sileacain ó gach cearn, agus téann siad isteach i sliseoga na sileacain tríd an mbearna idir adaimh sileacain, a bheidh mar acomhal leathsheoltóra n-chineáil agus leathsheoltóra p-chineáil, is é sin an PN acomhal. Tá aonfhoirmeacht mhaith ag an acomhal PN a tháirgtear leis an modh seo, is lú éagothroime an fhriotaíocht bhloc ná 10%, agus tá saolré an mhionlaigh níos mó ná 10m. Is é an t-acomhal PN an próiseas is bunúsaí agus is tábhachtaí i dtáirgeadh ceall gréine. Toisc go bhfuil an t-acomhal PN á fhoirmiú, ionas nach bhfillfidh na leictreoin agus na poill sa sreabhadh ar an mbunleagan, is é an sruth díreach, ag úsáid sreang chun an sruth a threorú amach, an sruth díreach. Úsáidtear an próiseas seo i dtáirgeadh agus i monarú sliseog cealla gréine.
Céim 4: Leithlisiú & Glanadh Imeall
Trí mheán creimthe ceimicí, déantar na sliseoga sileacain a thumadh i dtuaslagán aigéad hidreafluarach chun imoibriú ceimiceach a ghiniúint chun an t-aigéad hexafluorosilicic casta intuaslagtha a chruthú, chun ciseal de ghloine sileacain fosfair a fhoirmítear ar dhromchla na sliseog sileacain tar éis idirleata a bhaint. Sa phróiseas idirleata, imoibríonn POCL3 le O2 chun sil P2O5 a ghiniúint ar dhromchla sliseog sileacain. Imoibríonn P2O5 le Si chun adaimh SiO2 agus fosfair a ghiniúint. Ar an tslí seo, cruthaítear sraith SiO2 ina bhfuil eilimintí fosfair ar dhromchla sliseog sileacain, ar a dtugtar gloine phosphosilicon.
Is iondúil go bhfuil an trealamh le haghaidh gloine sileacain fosfair comhdhéanta den chorp, den dabhach glantacháin, den chóras tiomána servo, den lámh mheicniúil, den chóras rialaithe leictreachais agus den chóras dáilte uathoibríoch aigéad, etc. Is iad na príomhfhoinsí cumhachta ná aigéad hidreafluarach, nítrigin, aer comhbhrúite, uisce íon, sceite teasa agus fuíolluisce. Féadann aigéad hidreafluarach silica a thuaslagadh toisc go n-imoibríonn aigéad hidreafluarach le shilice chun gás tetrafluoride soghalaithe so-ghalaithe a dhéanamh. Má bhíonn an t-aigéad hidreafluarach iomarcach, imoibreoidh an tetrafluoride sileacain a fhoirmítear leis an imoibriú le haigéad hidreafluaracach chun aigéad intuaslagtha heicseafluairisilicic a chruthú.
Mar gheall ar phróiseas an idirleata, fiú má táthar ag baint úsáide as idirleathadh cúl-ar-ais, is cinnte go mbeidh gach dromchla lena n-áirítear imill sliseán sileacain idirleata le fosfar. Sreabhfaidh na leictreoin fhótaghinte a bailíodh ó thaobh tosaigh an acomhal PN go dtí cúl an acomhal PN feadh imeall an limistéir fosfair, ag cruthú ciorcaid ghearr. Dá bhrí sin, ní mór an sileacain dhópáilte timpeall na cille gréine a eitseáil chun an t-acomhal PN a bhaint ar imeall na cille.
Is iondúil go n-úsáidtear eitseáil Plasma chun an próiseas seo a chríochnú. Próiseas is ea eitseáil an phlasma ina ndéanann an mhóilín tuismitheora de ghás imoibríoch CF4 ionsamhladh agus foirmíonn sé plasma faoi excitation cumhachta rf ag brú íseal. Is éard atá i bplasma ná leictreoin agus iain mhuirearaithe, an gás i seomra an imoibriúcháin faoi thionchar leictreoin, chomh maith le hathrú ina ian, ach is féidir leis fuinneamh a ionsú agus líon mór grúpaí gníomhacha a chruthú. Sroicheann grúpaí imoibríocha dromchla SiO2 mar gheall ar idirleathadh nó faoi ghníomhú réimse leictrigh, áit a mbíonn imoibrithe ceimiceacha acu le dromchla an ábhair eitseáilte, agus cruthaíonn siad táirgí imoibriúcháin so-ghalaithe a éalaíonn ó dhromchla an ábhair eitseáilte agus a bhaintear as cuas an chórais folúis.
Céim 5: sil-leagan ARC (Cumhdach Frith-Machnamhach)
Is é frithchaiteacht dhromchla snasta snasta an scannáin fhrithchaite plátáilte ná 35%. D'fhonn an machnamh dromchla a laghdú agus feabhas a chur ar éifeachtacht chomhshó na gceallraí, ní mór sraith de scannán frith-fhrithchaiteach sileacain a thaisceadh. Faoi láthair, is minic a úsáidtear trealamh PECVD chun scannán frithshleachta a ullmhú i dtáirgeadh tionsclaíoch. Is é PECVD sil-leagan gaile ceimiceán feabhsaithe plasma. Is é an prionsabal teicniúil a bhaineann le plasma teocht íseal a úsáidtear mar fhoinse fuinnimh, an sampla ar urscaoileadh glow na catóide faoi bhrú íseal, ag baint úsáide as samplaí téimh díluchtaithe suas go dtí teocht réamhshocraithe, agus ansin téigh isteach sa ghás imoibriúcháin SiH4 agus NH3, is é an gás trí shraith imoibriúcháin cheimiceach agus plasma, a chruthaíonn scannán soladach i ndromchla an tsampla, scannáin tanaí nítríde sileacain. Go ginearálta, tá thart ar 70nm tiubh ag scannáin tanaí a thaisctear leis an modh sil-leagan ceimiceach seo atá feabhsaithe ag plasma. Tá scannán den tiús seo feidhmiúil go optúil. Ag baint úsáide as prionsabal na trasnaíochta scannán tanaí, is féidir an machnamh solais a laghdú go mór, is féidir an sruth gearr-chuaird agus aschur na ceallraí a mhéadú go mór, agus is féidir an éifeachtúlacht a fheabhsú freisin.
Céim 6: Déan teagmháil le Priontáil
Tá cealla priontála scáileáin déanta isteach in acomhal PN tar éis déanamh lint, idirleathadh agus PECVD agus próisis eile, ar féidir leo sruth leictreach a ghiniúint faoi sholas. D’fhonn na leictreoidí reatha, dearfacha agus diúltacha ginte a onnmhairiú ní mór iad a dhéanamh ar dhromchla na ceallraí. Tá go leor bealaí ann chun leictreoidí a dhéanamh, agus is é priontáil scáileáin an próiseas is coitianta chun leictreoidí cealla gréine a dhéanamh. ÚSÁID Priontáil Scáileáin an modh cabhraithe chun na grafaicí réamhchinntithe a phriontáil ar an bhfoshraith.
Tá trí chuid sa trealamh: priontáil greamaigh airgid ar chúl na ceallraí, priontáil greamaigh alúmanaim ar chúl na priontála greamaigh ceallraí agus airgid ar aghaidh na ceallraí. Is é an prionsabal oibre atá aige ná: an mogalra mogalra mogalra a úsáid tríd an méid, le scraper i méid na mogalra sreinge chun brú áirithe a chur i bhfeidhm, agus gluaiseacht i dtreo foirceann eile an mhogalra sreinge. Tá an dúch squeezable ó mhogalra na rannóige grafaicí go dtí an tsubstráit agus é ag gluaiseacht. Mar gheall ar shlaodacht ghreamú, socraítear an t-inphriontáil laistigh de raon áirithe. Le linn priontála, bíonn an scraper i dteagmháil líneach i gcónaí leis an bpláta priontála scáileáin agus leis an tsubstráit, agus bogann an líne theagmhála leis an scraper chun an turas priontála a chríochnú.
Céim 7: Sintéiriú
Ní féidir úsáid shintéirigh thapa tar éis priontáil scáileán sliseog sileacain, a úsáid go díreach trí fhoirnéis shintéirithe, an dóchán greamaitheach roisín orgánach, an chuid eile atá beagnach íon, mar gheall ar éifeacht na gloine agus gar don leictreoid airgid ar na sliseoga sileacain . Nuair a bhíonn leictreoid airgid agus sileacain chriostalaigh i dteocht an teocht eutectic, na hadaimh sileacain chriostalaigh le cion áirithe isteach in ábhair leictreoid airgid leáite, ag cruthú agus ag leictreoid teagmhála ohmic, ag feabhsú voltais chiorcaid oscailte cille agus ag líonadh dhá phríomhpharaiméadar, déan a thréithe friotaíochta, chun éifeachtúlacht chomhshó na cealla gréine a fheabhsú.
Tá trí chéim i bhfoirnéis shintéirithe: réamhthomhas, shintéiriú agus fuarú. Is é an aidhm atá leis an gcéim cheanglóra a dhianscaoileadh agus a dhó sa sciodar. Sa chéim shintéirithe, déantar imoibrithe fisiceacha agus ceimiceacha éagsúla a chomhlánú sa chorp shintéirithe chun an struchtúr scannán frithsheasmhach a dhéanamh agus chun na tréithe frithsheasmhacha a bheith aige. Ag an bpointe seo, sroicheann an teocht an bhuaic. Sa chéim fuaraithe agus fuaraithe, fuaraíonn, gloine agus fuaraíonn an ghloine ionas go ngreamaíonn an struchtúr scannán friotach go seasta leis an tsubstráit.
Céim 8: Tástáil agus Sórtáil Cell
Déantar na cealla gréine atá réidh le teacht le chéile a thástáil faoi dhálaí insamhalta solas na gréine agus ansin iad a rangú agus a shórtáil de réir a n-éifeachtúlachtaí. Láimhseálann gléas tástála cealla gréine é seo a thástálann agus a shórtáil go huathoibríoch na cealla. Ní gá ach d'oibrithe na monarchan na cealla as an stór éifeachtúlachta faoi seach a tharraingt siar a bhfuil na cealla éagsúla ag an meaisín ina leith.
Is éard a bhíonn sa chillín gréine anois ná bunábhar nua a úsáidtear ansin i gcóimeáil modúl gréine PV. Ag brath ar a réidh is atá an próiseas táirgthe agus ar chaighdeán bunúsach ábhair an tsocair sileacain, déantar an toradh deiridh i bhfoirm cille gréine a ghrádú tuilleadh i ngráid éagsúla cáilíochta cealla gréine.
Trealamh agus coinníollacha forimeallacha
Tá gá le trealamh forimeallach sa phróiseas táirgthe ceallraí, soláthar cumhachta, soláthar uisce, draenála, hvac, folúis, gaile speisialta agus saoráidí imeallacha eile. Tá trealamh cosanta dóiteáin agus cosanta comhshaoil tábhachtach freisin chun sábháilteacht agus forbairt inbhuanaithe a chinntiú.
Tá líne táirgthe gréine cealla a bhfuil toilleadh bliantúil de 50MW aici, ach an tomhaltas cumhachta agus próisis cumhachta thart ar 1800KW. Is é an méid uisce íon próisis thart ar 15 tonna in aghaidh na huaire, agus tá cáilíocht an uisce ag teastáil chun caighdeán teicniúil ew-1 a bhaint amach in uisce r-ghrád na Síne GB / t11446.1-1997. Is é tomhaltas uisce fuaraithe an phróisis ná thart ar 15 tonna san uair, níor chóir go mbeadh méid na gcáithníní san uisce níos mó ná 10 miocrón, agus ba chóir go mbeadh teocht an tsoláthair uisce 15-20 ℃. Tá urscaoileadh folúis thart ar 300M3 / H. Éilíonn sé freisin thart ar 20 méadar ciúbach de nítrigin agus 10 méadar ciúbach de ocsaigin. Ag cur tosca sábháilteachta gáis speisialta ar nós snene san áireamh, is gá eatramh speisialta gáis a bhunú chun sábháilteacht táirgeachta iomlán a chinntiú. Ina theannta sin, is saoráidí riachtanacha iad táirgeadh túir sadhlais agus stáisiún cóireála camrais le haghaidh táirgeadh cille.
