In 2019, seoladh Maf (210mm x 210mm) sliseoga mona p-Cineál (tinne sileacain trastomhas 295mm). Táthar ag súil go gcuirfidh M12 agus M6 an fhormáid 6 ”M2 (156.75mm x 156.75mm).
1 Airíonna ábhair
Maoin | Sonraíocht | Modh Cigireachta |
Modh fáis | CZ | |
Crystallinity | Monocrystalline | Teicnící Fabhracha Etch（ASTM F47-88） |
Cineál seoltachta | Cineál P. | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant | Bórón, Gallium | - |
Tiúchan ocsaigine [Oi] | ≦8E+17 ag / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Tiúchan carbóin [Cs] | ≦5E+16 ag / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Dlús poll eitse (dlús dislocation) | ≦500 cm-3 | Teicnící Fabhracha Etch（ASTM F47-88） |
Treoshuíomh dromchla | & lt; 100> ± 3 ° | Modh Díraonta X-gha (ASTM F26-1987) |
Treoshuíomh taobhanna bréagacha cearnacha | & lt; 010> ;,< 001=""> ± 3 ° | Modh Díraonta X-gha (ASTM F26-1987) |
2 Airíonna leictreacha
Maoin | Sonraíocht | Modh Cigireachta |
Friotaíocht | 0.5-1.5 Ωcm | Córas cigireachta wafer |
MCLT (saolré iompróra mionlaigh) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (le leibhéal insteallta: 1E15 cm-3) |
3Céimseata
Maoin | Sonraíocht | Modh Cigireachta |
Céimseata | Cearnóg iomlán | |
Fad taobh Wafer | 210 ± 0.25 mm | córas cigireachta wafer |
Trastomhas Wafer | φ295 ± 0.25 mm | córas cigireachta wafer |
Uillinn idir na taobhanna cóngaracha | 90° ± 0.2° | córas cigireachta wafer |
Tiús | 180﹢20/﹣10 µm; 170﹢20/﹣10 µm | córas cigireachta wafer |
TTV (Athrú iomlán tiús) | ≤27 µm | córas cigireachta wafer |
4 Airíonna dromchla
Maoin | Sonraíocht | Modh Cigireachta |
Modh gearrtha | DW | -- |
Cáilíocht dromchla | de réir mar a dhéantar iad a ghearradh agus a ghlanadh, ní cheadaítear aon éilliú infheicthe, (ola nó ramhar, priontaí méar, stains gallúnaí, stains sciodair, stains eapocsa / gliú) | córas cigireachta wafer |
Saw marcanna / céimeanna | ≤ 15µm | córas cigireachta wafer |
Bow | ≤ 40 µm | córas cigireachta wafer |
Warp | ≤ 40 µm | córas cigireachta wafer |
Sliseanna | doimhneacht ≤0.3mm agus fad ≤ 0.5mm Max 2 / ríomhaire; gan V-sliseanna | Córas cigireachta súile nocht nó sliseog |
Micrea-scoilteanna / poill | Ní cheadaítear | córas cigireachta wafer |
Clibeanna Te: p cineál m12 wafer gréine monocrystalline, an tSín, soláthraithe, déantóirí, monarcha, déanta sa tSín
